SEMI M42 - 화합물화합물체 에피타키샤르웨하노사 -

Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩285,000

Volume(s): Materials
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI M42-0211 - 대체됨

개정

Abstract

本standared는 글로벌 화합물 반도체 위원회 で技術的に承認されている。現版は2010年12 月21日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2011年2 www.semiviews.org およびwww.semi.org で入手可能となる. 初版は2000 10 月発行。

 

化合物半導體エピタキシャル層は,長年にわたって高速electroniksおよびoptElectronicsdebaisno基本構造として広範囲に使用されてきた。ユーザの仕様通りに材料を成長させる,에피타키샤르層のサプライヤがいる。standadeーd化された用語,許容範囲,および推奨されたtest方法等を定義し,weーハ仕様の解釈の曖昧さをなくす必要がある。特に力を入れたのは,均一性の定義である。本文書が扱うのは,基本となる必要条件だけである.実際の製品仕様においてはユーザ,sapriyay間の更なる要求項目が必要とされる.

 

참조된 SEMI 표준

SEMI M1 — 연마된 단결정 실리콘 웨이퍼 사양


SEMI MF673 ¾ 비접촉식 와전류 게이지로 반도체 웨이퍼의 비저항 또는 반도체 필름의 시트 저항을 측정하는 테스트 방법



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