SEMI M21 - 카테시안(데카르트)아레이에 입는 형태의 엘레멘트베의 割当아드레스의 가이드 -

Abstract

本GAIDは, 글로벌 실리콘 웨이퍼 위원회で技術的に承認されている。現版は， 2010年8月27 日、 global Audits & Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2010 年10 月にwww.semi. org 로 入手可能となる.初版は1992年発行，前版は2004 年3 月発行。

 

シリコンウェーハ表面上のアレイにおいて，Elementのラベル付けに標準化された方法があることはしばしば非常に有用である。

 

本gaidは，カーテシアンアレイにおいて，方形 Element を配置 し ， かつ唯 一の識別をする ための エレMENT ・ adretshing 方式 を規定 し ている.

 

そのようなアレイは，patanの描かれていない半導体we-han上の，사이트후랏트네스특성，欠陥맛핑，変数分布の決定，その他の사이트노位置づけをするのに有用である.

참조된 SEMI 표준

SEMI M1 — 연마된 단결정 실리콘 웨이퍼 사양
SEMI M17 — 범용 웨이퍼 그리드 가이드
SEMI M20 — 웨이퍼 좌표계 설정 실습
SEMI M59 — 실리콘 기술 용어

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