SEMI M18 - 시리콘웨하 정보 보호서적 -

Abstract

알림: 이 번역본은 참조용 사본입니다. 영어 버전과 다른 언어로 된 번역본 사이에 차이가 있는 경우 영어 버전이 공식적이고 권위 있는 버전입니다.

免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡

반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

本版は2012年8月30日，Global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2012年9月にwww.semiviews. orgおよび www.semi.org 에서 入手可能となる.初版は1990年発行.

　

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

　

シリコンテクノロジは，集積回路およびびデバイス産業の基盤である。SiRICONWERーHAは、電子機器に使用されるほとんどの集積回路およびび데바이스の礎あである。さまざまな種類のシリコンウェーハ製品の仕様書に記載しなければならないが記載されている共通の様式があれば非常に役に立つ。本gaidは，さまざまなシリコンウェーハ製品の適切な仕様に記載するためのそのような様式の作成方法 およびさまざまな様式を，発注書を作成するときに協調して機能させることができる方法について示す。

　

本gaidには，次の項目も含め，仕様書を作成する方法について記載する.

様式の項，様式の列，様式のheddダを特定する方法.

行のフォーマットおよび項目の番号付けの指示事項.

与えられたに追加する方法.

仕様内に無い様式の別の項から新しい項目を参照する方法.

特定のウェーハの重要なParamericaを記載した発注書の様式の項の1つではあるが，そのウェーハの仕様書の発注書に記載されていない項に責任があるグループからの新たな追加を要求する방법.

　

本gaidでは，発注書の項をlistアップし，記載される場所と使用方法を示す.

　

本gaidでは, シリコンウェーハの仕様書の発注情報の項を作成する方法に関する情報を提供する.

　

참조된 SEMI 표준

SEMI M1 — 연마된 단결정 실리콘 웨이퍼 사양
SEMI M8 — 연마된 단결정 실리콘 테스트 웨이퍼 사양
SEMI M16 — 다결정 실리콘 사양
SEMI M24 — 연마된 단결정 실리콘 프리미엄 웨이퍼 사양
SEMI M38 — 광택 재생 실리콘 웨이퍼 사양
SEMI M41 — 전력 소자/IC용 SOI(Silicon-on-Insulator) 사양
SEMI M57 — 실리콘 어닐링 웨이퍼 지정 가이드
SEMI M59 — 실리콘 기술 용어
SEMI M61 - 매립층이 있는 실리콘 에피택셜 웨이퍼 사양
SEMI M62 — 실리콘 에피택셜 웨이퍼 사양
SEMI M71 — CMOS LSI용 SOI(Silicon-on-Insulator) 웨이퍼 사양

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