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SEMI M17 - 일체형 웨하그리드 가이드 -
Abstract
本standared는 글로벌 실리콘 웨이퍼 위원회 で技術的に承認されている。現版は2010年8 月27 日， global Audits & Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2010 年10 月にwww.semi.org で入手可能となる.初版は1990 年発行，前版は2004 年7 月発行。
最大許容slipto その他不均等に分布する 欠陥は鏡面あるいは에피타키샤르시리콘웨하노調達にあtaり頻繁に定められる。 SEMI M62ではsrippを含むエピタキシャルウェーハ表面のわずかな領域についてその最大許容を定めている.
本gaidは観測された欠陥で覆われたウェーハ表面のわずかな部分の決定を容易にするWeーHagriddを使用用する ためのデザインおよびgaイdansを提供す루。
참조된 SEMI 표준
SEMI M1 — 연마된 단결정 실리콘 웨이퍼 사양
SEMI M59 — 실리콘 기술 용어
SEMI M62 — 실리콘 에피택셜 웨이퍼 사양
SEMI MF154 - 경면 실리콘 표면에서 보이는 구조 및 오염 물질 식별 가이드
SEMI MF1725 - 실리콘 잉곳의 결정학적 완전성 분석 실습
SEMI MF1726 — 실리콘 웨이퍼의 결정학적 완벽도 분석 실습
SEMI MF1809 - 실리콘의 구조적 결함을 기술하기 위한 에칭 솔루션의 선택 및 사용 가이드
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M01700 - SEMI M17 - 일체형 웨하그리드 가이드
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