SEMI HB3 - 150mm HB-LED 로드 포트용 기계적 인터페이스 사양 -

Abstract

이 표준은 HB-LED 글로벌 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2016년 8월 31일 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 원래 2013년 11월에 출판되었습니다.

　

이 문서의 목적은 로드 포트의 기본 인터페이스 치수와 HB-LED 150mm 카세트를 로드 및 언로드할 수 있는 HB-LED 제조 장비의 배열을 정의하는 것입니다. 이 문서는 혁신적인 솔루션을 제한하지 않고 로드 포트와 캐리어의 상호 운용성을 가능하게 하는 일련의 요구 사항과 기능을 정의합니다.

이 문서의 인터페이스 사양은 관련 SEMI HB-LED 150mm 카세트 표준을 준수하는 카세트와 결합하기 위한 것입니다.

적재 및 하역은 모든 종류의 시스템 또는 장치(예: 인간 조작자 또는 개인 안내 차량)를 사용하여 수동 및 반자동 모드에서 수행되는 것으로 가정합니다.

이 사양은 SEMI S8에 설명된 대로 수동 카세트 로딩의 인체공학적 요구 사항을 고려하고 카세트 회전 장치에 대한 볼륨을 제공합니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI E63 — 공구 표준(BOLTS-M) 인터페이스에 대한 300mm 박스 오프너/로더 사양
SEMI E144 — 캐리어의 RFID 태그와 반도체 생산 및 자재 취급 장비의 RFID 판독기 사이의 RF 에어 인터페이스 사양
SEMI HB2 — HB-LED 제조용 150mm 개방형 플라스틱 및 금속 웨이퍼 카세트 사양
SEMI S8 — 반도체 제조 장비의 인체공학 엔지니어링을 위한 안전 가이드라인

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