G09500 - SEMI G95 - 백엔드 공정에서 테이프 프레임 카세트용 450mm 로드 포트의 기계적 기능 사양

SEMI G95 - 백엔드 공정에서 테이프 프레임 카세트용 450mm 로드 포트의 기계적 기능 사양 -

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Volume(s): Packaging
Language: English

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Type: Single Standards Download (.pdf)

개정: SEMI G95-1120 - 전류

개정

Abstract

이 표준은 450mm 테이프 프레임 카세트(450TFC)를 로드 및 언로드할 수 있는 반도체 제조 장비의 로드 포트의 기계적 인터페이스를 정의합니다. 이 정의에 따라 로드 포트와 캐리어의 상호 운용성을 가능하게 하고 450 TFC를 사용하여 자동화를 촉진하는 것을 목표로 합니다.


이 표준의 인터페이스 사양은 450mm 테이프 프레임 카세트(450 TFC)를 준수하는 캐리어에 의해 구동되고 결합되도록 의도되었으며 450 TFC에 적용됩니다.


이 표준은 450 TFC와 로드 포트 사이의 기계적 인터페이스만 지정하기 위한 것입니다.


450 TFC의 적재 및 하역은 반자동(PGV) 또는 자동(AGV 또는 OHT) 처리로 수행되는 것으로 가정합니다.

 

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI G88 — 450mm 웨이퍼용 테이프 프레임 사양


개정 내역

SEMI G95-1120(제목 변경)

SEMI G95-0314(기술 개정)

SEMI G95-0613(최초 발행) 



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