SEMI G92 - 450mm 웨이퍼용 테이프 프레임 카세트 사양 -

Abstract

이 표준의 목적은 웨이퍼 마운팅 프로세스와 다이 본딩 프로세스 사이에 사용되는 450mm 웨이퍼 테이프 프레임 카세트의 기계적 특징을 지정하는 것입니다.

이 표준은 적절한 수준을 설정하기 위한 것입니다. 보장하면서 혁신에 최소한의 제한을 두는 사양 모든 기계적 인터페이스에서 모듈성 및 상호 교환성.

테이프 프레임 카세트의 기계적 인터페이스만 지정됩니다. 재료의 종류나 청결도는 정해져 있지 않습니다.

이 표준은 450mm 웨이퍼용 테이프 프레임 카세트의 반자동(PGV) 및 자동(AGV 또는 OHT) 처리를 모두 지정합니다. 수동 처리를 다루지 않습니다.

450mm 웨이퍼 프레임 카세트에는 다음 구성 요소와 옵션 구성 요소가 있습니다. 선택적 구성 요소는 450 TFC(테이프 프레임 카세트)의 필수 기능이 아닙니다. 그들은 고객의 요구 또는 제조 문제에 따라 추가될 수 있습니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI G88 — 450mm 웨이퍼용 테이프 프레임 사양

SEMI G95 — 백엔드 프로세스에서 테이프 프레임 카세트용 450mm 로드 포트의 기계적 특징에 대한 사양

개정 내역

SEMI G92-0315(재승인 1220)

SEMI G92-0315(기술 개정)

SEMI G92-0814(기술 개정)

SEMI G92-1113(기술 개정)

SEMI G92-0412(최초 발행)

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