SEMI G85 - 지도 데이터 형식 사양 -

Abstract

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

이 문서는 전자 매핑과 관련된 데이터 항목을 파일 형식으로 표현하는 방법을 자세히 설명합니다.

이 문서에 제공된 예는 웨이퍼에 대한 것이지만 설명된 맵 데이터 형식은 웨이퍼, 트레이, 스트립 또는 테이프를 포함하되 이에 제한되지 않는 모든 기판에 적용될 수 있습니다.

이 문서는 지도 데이터 항목의 형식에 적용됩니다. 이 문서는 지도의 전송, 파일 명명 규칙, 저장 또는 보관을 다루지 않습니다.

지도 데이터 항목의 의미 체계는 이 문서에 지정되어 있지 않습니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI G81 — 지도 데이터 항목 사양

개정 내역

SEMI G85-0703(기술 개정)

SEMI G85-0303(기술 개정)

SEMI G85-1101(초판)

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