SEMI G82 - 백엔드 프로세스의 프레임 카세트용 300mm 로드 포트 사양 -

Abstract

이 사양은 백엔드 공정 장비에서 300mm 웨이퍼용 프레임 카세트의 로드 포트에 대한 치수 요구 사항을 정의합니다. 이는 장비와 공장 간의 균일한 물리적 인터페이스를 촉진하고, 자동화된 프레임 카세트 운송 시스템의 사용을 용이하게 하고/하거나 수동으로 로드되는 장비에 대한 인체공학적 요구 사항을 충족하기 위한 것입니다.

300mm 프레임 카세트 전용 표준 커버링 장비입니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양

SEMI E15.1 — 300mm 공구 로드 포트 사양

SEMI E64 — SEMI E15.1 도킹 인터페이스 포트에 대한 300mm 카트 사양

SEMI G77 — 300mm 웨이퍼용 프레임 카세트 사양

개정 내역

SEMI G82-1115(1220 재승인)

SEMI G82-1115(기술 개정)

SEMI G82-0301E(재승인 0706)

SEMI G82-0301E(편집 개정)

SEMI G82-0301(최초 발행)

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