SEMI G81 - 지도 데이터 항목 사양 -

Abstract

이 문서는 전자 기판 매핑과 관련된 데이터 항목을 설명합니다.

이 문서는 기판 지도 데이터 항목에만 적용됩니다.

이 문서는 기판 맵의 전송, 파일 명명 규칙, 저장 또는 보관에 대해서는 다루지 않습니다.

어떤 데이터 항목이 선택 사항이고 어떤 항목이 필수인지에 대한 사양은 이 문서에 지정되어 있지 않습니다.

이 문서에 기술된 각 데이터 항목의 크기는 최대 크기입니다. 실제 크기는 지원 문서에 의해 추가로 제한될 수 있습니다.

데이터 항목의 순서는 이 문서에서 제한되지 않습니다. 데이터 항목의 순서는 응용 프로그램 문서에 의해 제한될 수 있습니다.

하위 표준:

SEMI G81.1-0307(재승인 0315) - Dice on Substrate의 특성에 대한 지도 데이터의 그랜드 개념 사양

　

참조된 SEMI 표준

SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II)
SEMI T9 — 금속 리드 프레임 스트립에 2차원 데이터 매트릭스 코드 기호를 표시하기 위한 사양

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