SEMI G78 - 공정별 측정을 활용하는 자동 웨이퍼 프로브 시스템 비교 테스트 방법 -

Abstract

이 테스트 방법은 글로벌 자동 테스트 장비 위원회에서 기술적으로 승인했으며 북미 자동 테스트 장비 위원회의 직접적인 책임입니다. 현재 버전은 1998년 12월 18일 북미 지역 표준 위원회에서 승인되었습니다. 1999년 4월 www.semi.org에서 처음 사용 가능; 1999년 6월 출간 예정.

용어를 정의하고 자동 웨이퍼 프로버 기능에 대한 비교 또는 상대 측정 수단 제공: 정확도, 반복성 및 처리량.

참조된 SEMI 표준

SEMI E10 — 장비 신뢰성, 가용성 및 유지보수성(RAM)의 정의 및 측정을 위한 표준
SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 안전 가이드라인

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