SEMI G77 - 300mm 웨이퍼용 프레임 카세트 사양 -

Abstract

이 표준의 목적은 웨이퍼 장착 공정과 다이 본딩 공정 사이에 사용되는 300mm 웨이퍼 프레임 카세트의 기계적 특징을 지정하는 것입니다.

이 표준은 최소한의 위치에 적절한 사양 수준을 설정하기 위한 것입니다. 모듈성과 호환성을 전혀 보장하지 않으면서 혁신에 대한 제한 기계적 인터페이스.

 

프레임 카세트의 물리적 인터페이스만 지정됩니다. 재료 요구 사항이나 미세 오염 한계는 제공되지 않습니다. 그러나 이 사양은 금속 및 플라스틱 프레임 카세트 디자인을 모두 허용하도록 작성되었습니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E1.9 — 300mm 웨이퍼를 운반하고 보관하는 데 사용되는 카세트의 기계적 사양

SEMI E15 — 300mm 공구 로드 포트 사양

SEMI E47.1 — 300mm 웨이퍼 운송 및 보관에 사용되는 FOUPS의 기계적 사양

SEMI E57 ¾ 300mm 웨이퍼 캐리어를 정렬하고 지지하는 데 사용되는 키네마틱 커플링 사양

SEMI G74 ¾ 300mm 웨이퍼용 테이프 프레임 사양

SEMI S8 ¾ 반도체 제조 장비의 인체 공학 엔지니어링을 위한 안전 지침

개정 내역

SEMI G77-0699(1020 재승인)

SEMI G77-0699(재승인 0215)

SEMI G77-0699(재승인 0706)

SEMI G77-0699(최초 공개)

 

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