SEMI G67 - 시트 재료의 입자 생성 측정을 위한 테스트 방법 -

Abstract

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이 테스트 방법은 시트 재료의 입자를 측정하는 절차를 설명합니다.

설명된 방법은 다음과 같은 항목의 입자 측정에 사용될 수 있습니다.

• 리드프레임 인터리브,

• 클린룸 페이퍼 및

• 포장재.

이 절차는 재료 제조업체가 품질 관리를 위해 사용하거나 수입 검사 시 고객이 사용할 수 있습니다.

참조된 SEMI 표준

없음.

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