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SEMI G61 - 동시 소성 세라믹 패키지 사양 -
Volume(s):
Packaging
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
이 사양은 고온 동시 소성 세라믹 패키지에 대한 재료 및 허용 기준을 정의합니다. 참조된 SEMI 표준 SEMI G6 — 씰 링 평탄도
SEMI G8 — 금도금 - 내열성
SEMI G23 — 패키지 리드의 인덕턴스 측정
SEMI G24 — 패키지 리드의 리드-리드 및 로딩 커패시턴스 측정
SEMI G25 — 패키지 저항 측정
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