SEMI G59 - 리드프레임 인터리핑의 이온 오염 측정 및 인터리핑에서 리드프레임으로 전달된 오염을 측정하기 위한 테스트 방법 -

개정: SEMI G59-94(0318 재승인) - 비활성

개정

Abstract

이 테스트 방법은 물 추출 방법을 사용하여 리드프레임 인터리핑에서 이온 오염과 인터리핑에서 리드프레임으로 전달된 오염을 결정하는 절차를 설명합니다.

이 테스트 방법은 다음 이온 종에 민감합니다.

• Na+, NH4 +, K+, Cl-, NO3- , Br-, SO42- , PO43- .

참조된 SEMI 표준

없음.

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