SEMI G52 - 半導體 リードフレームの ion汚染物の測定のための標準測定法(提案) -

개정: SEMI G52-90(1104 재승인) - 대체됨

개정

Abstract

本測定法は， Global Assembly and Packaging Committeeで技術的に承認されたもので，Japanese Packaging Committeeが直接責任を負うものである.現版は2004年7月23日Japanese Regional Standards Committeeにて承認されている。 2004年9月にまずwww.semi.orgで入手可能になり， 2004年11月発行に至る。初版は1990年。

　

本standard は，水分抽出法を用いた，リードフレーム上のION汚染を測定する手順について述べている。この方法は（ Na+ , NH 4 + , K+ , Cl- , NO 3 - , Br- , SO 4 2- ， PO 4 3- ) に対し感度를 持つ。

　

注意： このスタンダード および安全gaidlineはその使用に関連した全ての安全問題を取り扱うことを意図していない.て，適切な安全および健康上実施すべき事柄を確立し，また使用前に法規制やその他の制限への適用性を判断するものである.

　

참조된 SEMI 표준

없음.

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