SEMI G6 - 씰 링 평탄도 테스트 방법 -

Abstract

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

이 사양은 밀봉 링과 밀봉 링의 3개 고정 지점으로 정의된 기준 평면 사이의 최대 편차를 결정하는 방법을 다룹니다. 이 방법은 0.330인치 × 0.330인치보다 작은 부품에는 적용되지 않습니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

없음.

개정 내역

SEMI G6-89(기술 개정판)

SEMI G6-84(기술 개정판)

SEMI G6-83(최초 공개)

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