SEMI F117 - 1.125인치 유형 표면 실장 가스 분배 시스템용 샌드위치 부품 치수 사양 -

Abstract

알림: 이 문서는 SEMI C88-0815를 대체합니다.

이 표준은 1.125인치 유형의 표면 장착 가스 분배 시스템에 대한 필터, 체크 밸브, 제한 장치, 포트 변환기 및 기타 구성 요소의 물리적 치수를 설정합니다.

이 표준은 기판과 구성 요소 사이에 샌드위치 또는 적층 방식으로 설치되는 구성 요소에 적용됩니다.

이 표준은 동등한 기능을 가진 구성 요소에 대한 호환성을 제공하기 위해 표준 치수를 설정합니다.

이 표준은 2개 및 4개의 패스너 구성에 적용됩니다.

이 표준은 308kPa(44.7psia)에서 ≤50slm 질소 환산의 유량을 제어하는 ​​시스템용 부품에만 적용됩니다.

이 표준은 20°C에서 작동 압력이 3445kPa(500psia) 미만인 구성 요소에만 적용됩니다.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

없음.

개정 내역

SEMI F117-1121(최초 게시 – SEMI C88 대체)

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