SEMI F113 - 가스 전달 시스템에 사용되는 압력 변환기에 대한 테스트 방법 -

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2016년 10월 17일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2016년 11월에 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다.

이 문서의 목적은 반도체 처리용 가스 전달 시스템에 사용되는 전자 압력 변환기에 대한 테스트 방법을 설명하는 것입니다.

이 문서는 전체 압력 범위가 2757.9인 압력 변환기의 누출 무결성, 예열 시간, 전압 감도, 부정확성, 선형성, 반복성, 히스테리시스, 재현성, 열 계수, 드리프트, 가속화된 수명 주기 및 보증 압력을 테스트하는 절차를 설명합니다. 가스 전달 시스템에서 KPa(400psia) 이하.

참조된 SEMI 표준

SEMI C59 — 질소 사양 및 지침
SEMI E27 — 질량 유량 컨트롤러 및 질량 유량계 선형성 가이드
SEMI E28 — 질량 유량 컨트롤러의 압력 사양 가이드
SEMI E49 — 고순도 및 초고순도 배관 성능, 하위 어셈블리 및 최종 어셈블리 가이드
SEMI E56 — 열 질량 흐름 컨트롤러의 정확성, 선형성, 반복성, 단기 재현성, 히스테리시스 및 불감대 결정을 위한 테스트 방법
SEMI E89 — 측정 시스템 분석(MSA) 가이드
SEMI F1 — 고순도 가스 배관 시스템 및 부품의 누출 무결성에 대한 사양
SEMI F62 — 주변 및 가스 온도 영향으로부터 질량 흐름 컨트롤러 성능 특성을 결정하기 위한 테스트 방법

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