SEMI F106 - 헤리움 漏れ検出器によるgas供給System의 漏れ完全性を確認するためのtest方法 -

Abstract

本standanardは， global Facilities Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2012年8 月30日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2012年10月にwww.semiviews.orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は2008年3月発行。

　

この文書は，gas供給systemのinboard ヘrium漏れのtest方法を定義する。

　

従来의 메탈페이스시르방형과 서페이스마운트방방의 両方の가스의 供給 Systemに適用 される.

　

この test方法 は半導体製造工場，研究所ならびに開発分野で使用されすべての種類の高純度gas供給Systemに適用される。

　

참조된 SEMI 표준

없음.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.