SEMI F104 - 超純水 および液體化学薬品分配systems에 사용하기 쉬운 콘포넨트 評価의 파티크루 試験방법 가이드라인 -

Abstract

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本書 で は，超純水（ UPW ）流中のpartyクルに寄与する コンポーネントを評価 し比較するための推奨試験方法を示す。本方法は, SEMI F57 의 파티크루를 탔습니다.

파티크루를 寄与度を評価する2 つの方法を提示する.

すすぎ試験法では, コンポーネントの静的状態における후랏싱모드시계の性能を評価する.これは，partiクルレベルがユーザ定義の仕様にまで到達するのに必要な分量を示す.

사이크루試験法では, コンポーネントの繰り返しの性能を評価し,定常状態での繰り返しよる파티크루の寄与度を示す.

これらの試験方法は，半導体製造装置よび補助装置に使用するための薬液와 UPWSystemconpo-nentに適用される.

本書 で は， UPW を試験媒体 と し て使用 し コンポーネントのpartyクル寄与度を測定する方法を説明する。本書において， UPWの定義は本書の¶ 7.4で概述された最小要件を満たしているものとする.

これらの方法は，現場用液體光学式parteycru測定装置( OPM )を使用して性能を定量化する.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

SEMI E49 — 고순도 및 초고순도 배관 성능, 하위 어셈블리 및 최종 어셈블리 가이드

SEMI F57 - 초순수 및 액체 화학물 분배 시스템에 사용되는 폴리머 구성 요소 사양

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