SEMI F97 - 시설 패키지 통합, 모니터링 및 제어 사양 -

Abstract

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

 

이 사양의 목적은 시설 모니터링 및 제어 시스템(FMCS)과 다양한 시설 패키지 장치(FPU) 간의 표준화되고 통합된 통신을 가능하게 하는 아키텍처, 기능 및 인터페이스에 대한 요구 사항을 제공하는 것입니다. 이 사양에는 적용 예를 제공하기 위해 관련 정보가 첨부됩니다.

 

배경 및 동기

오늘날 FPU 공급업체(예: 화학 물질, 전원 공급 장치, 가스, HVAC)는 개별 통신 개념을 사용하는 경우가 많습니다. 이로 인해 FPU와 FMCS 간의 통신 구조를 지정하고 인용된 솔루션을 평가하고 궁극적으로 이러한 장치를 통합하기 위한 많은 노력이 필요합니다. 이러한 개인이 아니라 오늘날 표준화된 개념은 재사용할 수 없으며 실행 및 리드에 위험이 있습니다. 높은 유지 보수 비용.

 

이 사양은 시설과 모니터링 구성 요소 간의 통신을 표준화하기 위한 첫 번째 단계입니다. 따라서 모든 FPU에 공통적인 작은 요구 사항 집합에 그 범위가 집중되어 있습니다. 이 통신 개념이 다양한 FPU 공급업체와 그 고객에 의해 채택됨에 따라 특정 FPU 및 해당 서비스를 설명하는 보다 구체적인 표준이 발전할 수 있습니다.

 

이 표준에서 다루는 사람과 내용.

FMCS와 FPU 간의 통신 개념 표준화는 FPU 제조업체, 일반 계약업체, 시스템 통합업체, 구매자 및 제어 시스템 제조업체를 지원합니다. 비용을 크게 절감할 수 있습니다. 안정적인 실행 시간 및 최적화된 유지 관리 개념.

 

이 표준은 FPU를 FMCS에 통합하기 위한 아키텍처, 공통 서비스, 데이터 및 의미론적 의미에 대한 요구 사항을 지정합니다. 이를 위해 FPU 상태 정보와 데이터를 교환하기 위해 FMCS와 FPU 간의 기본 공통 서비스(작업) 집합이 지정됩니다. 또한 FPU의 상태 모델에 대해 설명합니다.

 

참조된 SEMI 표준

SEMI E6 — 반도체 장비 설치 문서 가이드
SEMI E30 — 제조 장비(GEM)의 통신 및 제어를 위한 일반 모델 사양
SEMI E54 — 센서/액추에이터 네트워크 사양

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