SEMI F96 - CVD 전구체를 포함하는 캐니스터의 포트 구성 사양 -

Abstract

이 사양은 Global Gases Committee의 기술 승인을 받았으며 North American Gases Committee의 직접적인 책임입니다. 현재 버전은 2004년 4월 22일 북미 지역 표준 위원회에서 승인되었습니다. 2004년 6월 www.semi.org에서 처음 사용 가능; 2004년 7월 출간 예정.

　

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

이 문서는 액체 화학 전구체, 용액 및 용제용 금속(예: 스테인리스 스틸) 캐니스터에 사용되는 커넥터의 유형, 크기 및 간격을 지정합니다.

이 문서는 용매의 전구체 용액을 포함하여 "액체 전구체"(정의 참조)에 사용되는 금속(예: 스테인리스 스틸) 캐니스터에 적용됩니다. 전달 시스템의 현장 세척에 사용되는 용매 용기에도 적용됩니다.

밸브에 대한 공압 연결과 마찬가지로 액체 연결 포트(입구 및 배출구)가 포함됩니다.

전체 캐니스터 치수와 같은 매개변수는 다른 표준에 의해 지정될 것으로 예상됩니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI F66 — 액체 화학물질용 스테인리스강 용기의 포트 마킹 및 기호 사양

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