SEMI F90 - 1.5인치형 2파스나 서퍼마운트형 가스 개조 시스템용 스탄다드 사이즈 2포트 콘포넨트(MFC/MFMを除く)의 최종적인 설계 -

Abstract

本standared는, global Gases Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2012年8 月30日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2012年10月にwww.semiviews.orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる.初版は2004年3月発行.前版は2012年3月発行。

　

本standard는 1.5인치 타입 서프마운트형 가스 供給 시스템용 2포트 콘포넨트의 특수성(仕様)과 機械的な寸法を規定する입니다.

　

本standardは, konpo-nentの共通する 要求事項, 레이아우트, 사이즈, 詳細な仕様, 寸法を含む.

　

本standardは,standadsize2port・2phasnaーconpho-nent(마스플로콘트로라/마스플로메타を除く)に適用 される.콘포넨트(바르브，圧力調整器，圧力変換器，フィルター，清浄器등）は，上部からアクセス可能なファスナー（ボルト等）を使用し，基板（ベース）に実装される.

　

本standaードは， 308kPa(44.7psia)において50slm以下(窒素換算)の流量調整をするSystemのconsultantに適用 されるmatata，本standaードは， 20 . ° C 에 3445kPa(500psia) 사용 시圧のコンポーネントに適用 される.

참조된 SEMI 표준

SEMI E49.8 - 반도체 제조 장비의 고순도 및 초고순도 가스 분배 시스템 가이드
SEMI F20 — 범용, 고순도 및 초고순도 반도체 제조 응용 분야에 사용되는 부품용 316L 스테인리스 스틸 바, 단조품, 압출 성형품, 플레이트 및 튜브 사양

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