SEMI F65 - 미리사이즈의 PFA츄브와 함께 사용하는 다이아후람바르브의 取付ベース의 寸法仕様 -

Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩289,000

Volume(s): Facilities
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정: SEMI F65-1101 - 비활성

개정

Abstract

알림: 이 번역본은 참조용 사본입니다. 영어 버전과 다른 언어로 된 번역본 사이에 차이가 있는 경우 영어 버전이 공식적이고 권위 있는 버전입니다.

免責事項: このSEMIstandadeは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIstandard日本語翻訳版をご利用にあたっての注釈を本文の末尾に記載しております(「すべきである」「しなければならない」について等)。

 

本standanardは, 글로벌 액체 화학 물 유통 시스템 위원회で技術的に承認されている。現版は2001年8月3日,일본 지역 표준 위원회にて発行が承認された。 2001年9月にwww.semi. org 에서 そして2001年11月発行となる。

 

알림: 이 표준 또는 안전 지침은 현재 상태를 유지하기 위한 조건이 충족되지 않았기 때문에 비활성 상태입니다. 비활성 표준 또는 안전 지침은 SEMI에서 제공되며 계속해서 사용할 수 있습니다.

 

本文書は、半導体 およびフラット・Panel・dispray製造用の薬液供給設備 およびプロses装置において、메트릭크系PFA츄브와 もに使用するダ이아후람바르브의 取付ベースと、そのボルト取付穴の位置와 寸法を規定する.

 

将来の開発を妨げず, 다이아후람바르브の互換性を促進するように,本文書の範囲を2章に規定されるように制限する.

 

本文書は、表1に記載されtasizeの츄브中の薬液の流れを遮断および/mataは制御するために作られたダイアフラムを有する2ポートバルブの取付ベースに適用される.

 

これらのバルブは, PTFE , PFA等耐食性が高く流體汚染性の低い素材から構成される.

 

참조된 SEMI 표준

없음.

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