SEMI F62 - 周囲 およびgas 温度の影響에서 masfro-contro-ra性能特性を決定する試験方法 -

Abstract

本standared는, global Gases Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2011年9月12日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2011年11月にwww.semiviews.orgおよびwww.semi.org에서 入手可能となる. 初版は2001年7月発行.

　

注意: 本文書は，編集上の修正を伴い，再承認された。

　

本文書の目的は，Gas供給Systemに組み込むことを検討しているmasfroーcontrolora（MFC）の試験方法を規定し，MFCの指示流量to実流量への周囲温度およびgass温度の影響を定量化することである。

참조된 SEMI 표준

없음.

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