SEMI F58 - 大気圧 ion化質量分析計(APIMS) による表面実装 および一般的gas供給systemの水分ドライダウン特性測定のためのtest方法 -

Abstract

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반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

 

本standard는, 글로벌 가스 위원회で技術的に承認されている。現版は2008年5月13日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2008年6月にwww.semi.orgで。

　

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本書は，表面実装 および一般的gas配分시스템(集積化gas配分시스템)の水分draidawn特性(水分除去量)を決定するための手順を説明するAPIMSは，最速応答時間でpptレベルの水分分析が可能な市販技術であるため，動的試験用として広く選択されている方法である.本test方法は，現在市販されていないかもしれないAPIMSto同様の検出限界および反応時間をもつ他の技術適用する際の가이드 라인으로 しても 사용 できる.

　

本testの結果は，設計に基づくgas供給Systemの定性的等級付けに用いることができる。mata，十分に精通している使用者なら，gas配分system挙動の数値しみレーションの入力値として使用することもできる。

本test方法は，半導体prosesに使用されるすべての形の表面実装および一般的gass配分系に適用する ことができ。

　

試験媒체

－ 試験手順は窒素中で実施する.その他の"不活性"gasは，異なるパージング特性を持っており，より速くまたはよりゆっくりと乾燥する ことがある。反応性gasは，水分に化学的に反応することがある.この試験手順は腐食性の研究に有効かもしれないが，耐腐蝕性に関する検討は本書の範囲外である結果は，設計の違いに起因する水分発生についての等級付けを提供する。別のgasでの応用を意図したSystemに対しては，しかるべき注意をもって適用する ことができる.

稼動状態

－ Gass供給Systemからの水分発生は，その製造中に発生する汚染，若しくはその後の周囲空気matataは非乾燥gasへの暴露が原因となりうる。したがって，二つの主要状況を考えることが必要である.

　

"初期ドライダウン"状態は，(受け入れ状態での)System内の部品の水分含有量によって決定される。これには，製造工程および設計，表面品質，前処理および梱包が絡み合って影響する。

　

"앱셋트 반사"는, 시스템이 吸収し，それ에서 受け入れ後의 暴露中に放出する水分量で決定される.

　

참조된 SEMI 표준

SEMI C15 — ppm 및 ppb 습도 표준에 대한 테스트 방법

SEMI F27 — APIMS(대기압 이온화 질량분석법)에 의한 가스 분배 시스템 및 구성 요소의 수분 상호 작용 및 함량에 대한 테스트 방법

SEMI F33 — 대기압 이온화 질량 분석기(APIMS)의 교정 방법

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