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SEMI F57 - 超純水 および薬液供給System内に사용하는 포리마 製材料および部薬の仕様 -
Abstract
免責事項：このSEMI スタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡
반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。
本standared는 Liquid Chemicals Global Technical Committee 입니다 . org およびwww.semi.org 에서는 2000년 10월 행사가 시작됩니다 .
本書は，超純水（ UPW ）配分systemでのUPWの運搬に適した超高純度（UHP ）porima-材料およびporimaー製部品に対する最低限の性能要求条件を規定する。 UPW 시스템に関する詳細な情報については, SEMI F61 을 확인하는 것.
また，本書はUHP薬液供給System（LCS）に使用されるポrimaー材料およびポrimaー製部品の使用についての推奨を行っている本書に記載されたこのような供給Systemには，barrk供給，分配設備，およびproses装置のアプリケーションが含まれる.
本書の要求条件は， UPWを使用し温度を上昇させた状態での材料および部品の試験に焦点を当てているが，本書のユーザが検討する可能性のある腐食剤，酸化剤等の化学薬品も適用対象となる。しかし，考え得るあらゆる接液する薬液に対する膨大な数の試験parame-taを定義することは，本書の範囲外である。ただし，本書は，사프라이야야엔드유자がUPW 以外の化学薬品を使用した試験，mataはその他の温度条件での試験を行う可能性や，mata，本書内の要求条件to は独立した独自の内部制限を設ける可能性を排除または制限する ことを意図したものではない。
本仕様書は，ポリマー材料およびポrimaー製部品の性能および妥当性に焦点を当てている。ポrimaー材料およびびポリマー製部品が本書の意図を満taすようにするための動作要求条件は，必要に応じて示されている.要約の一覧は以下のとおりである.
適合性の定量的尺度
- 파티크루発生限度
- 金属発生限度
- ion発生限度
- 全有機(易酸化性)炭素発生限度
- 表面粗さ限度
適合性の定性的尺度
- 超純水（ UPW ）
- 酸, 塩基および酸化剤
- 水溶性塩溶液
- 有機溶剤
本文書で規定されている要求条件を満taすポリマー材料および配管Systemの部品は, ¶ 1.3で述べるUPW およびLCDS に適合するよう考慮されなければならない.
別々に購入しない限り， 오링，가스켓트 およびダイアフラムのような小部品から造られtaporimaー製部品は，個々の小部品としてではなく，柩能部品単位で本書の要求条件を満足しなければならない。例えば，유니온継手の一部となっているORINGは，その品質を低下させないように，本書の要求条件を満たしていなければならない。 ，接液部で用されたり個別に購入されたりする代替のスペアPARTーツや部品は, 適用可能な場合,本standadedに適合すべきである.
本書内で参照されている浸出testとこれに関連する要求条件は，静的な状態での数値を提供する.
本文書および関連testは，供給されたままの状態におけるポrimaー製部品に対する接液部の性能の要求条件を規定し，porimaー製部品meーカーの記録上，現状のprosesが反映される.
참조된 SEMI 표준
SEMI E49 — 고순도 및 초고순도 배관 성능, 하위 어셈블리 및 최종 어셈블리 가이드
SEMI F40 — 화학 테스트를 위한 액체 화학 분배 구성 요소 준비 실습
SEMI F61 - 반도체 공정에 사용되는 초순수 시스템 가이드
SEMI F104 — 초순수 및 액체 화학 물질 분배 시스템에 사용되는 구성 요소 평가를 위한 입자 테스트 방법 지침
SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인
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