SEMI F53 - 서말・마스후로콘트로라노전자감성성형의 試験방법 -

Abstract

本standared는, global Gases Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2011年12 月24日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2012年4月にwww.semiviews.orgおよびwww.semi.org에서 入手可能となる. 初版는 2000年7月発行.

　

注意: 本文書は，編集上の修正を伴い，再承認された。

　

本文書の目的は，서말・마스후로콘트로라の電磁感受性の評価および試験のための體系的方法を定める ことである.

　

本文書は，サーマル・マスフローコントロラがその産業に特有のEMIレベルに置かれた時，機能特性を保持するか否かを評価するために使用することができる要求事項および試験方法を述べる.試験方法は，콘트로라가EMIに曝されたときの輻射感受性（RS）および伝導感受性（CS）の両方を記述する。電磁感受性の要求条件はMIL-STD-461CおよびSAMA PMC-33.1によるものであり，試験방법 은 MIL-STD 462 에 정의 된 RS03 , CS01 , CS02 또는 CS06 을 사용하는 방법입니다.

참조된 SEMI 표준

없음.

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