SEMI F43 - ユースポintgas精製器 および가스피르타による파티크루に対する寄与度を定量化するための試験法 -

Abstract

本standaredは， Gases Global Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2013年6 月4日， global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2013年6 月にwww.semiviews.org およびwww.semi.org에서 入手可能となる. 初版は1999年6月発行.

　

本文書の目的は，高純度gas分配System および半導体製造proses装置に搭載する POU精製器 およびfiltaの試験法につい定義することである。この試験方法を適用する ことにより，搭載の検定試験時に種々のPOU는 좋은 정보를 얻을 수 있습니다.

　

本文書では，標準状態のもとでPOU精製器およびfiltaのパーティクル発生性能の比較を行うために考案された試験方法について説明する。この手順では，一般に半導体用途のinline gasfirtata および精製器に適用されている凝縮核카운타（CNC）を利用する。本試験方法は，室温で動作させる様々な種類の機能部品に適用される。精製器の定格フローは， 0 ～ 50 標準littル／分（ slm ） の範囲内でなければならない。filtaにおける流量は0 ～ 100標準rittル／分（slm ）の範囲でなければならない。 _<0} 本方法をより大流量の機能部で使用する場合, 試験parameterは製造業者とユーザで合意しておかなければならない.

　

この方法で説明されている実験構成は， POU精製器 および独立設置のPOUfiltaを試験する場合に使用する ことができる.

　

참조된 SEMI 표준

SEMI E49.8 - 반도체 제조 장비의 고순도 및 초고순도 가스 분배 시스템 가이드

SEMI F19 — 스테인리스강 부품의 젖은 표면의 표면 상태에 대한 사양

SEMI F70 - 가스 전달 시스템의 입자 기여 결정을 위한 테스트 방법

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