SEMI F37 - 가스 분배 시스템 구성요소의 표면 거칠기 매개변수 결정을 위한 테스트 방법 -

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2017년 8월 18일 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2018년 3월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 1999년 2월에 처음 출판되었습니다. 이전에 게시된 2011년 6월.

이 테스트 방법의 목적은 가스 분배 시스템 구성 요소에서 측정된 표면 거칠기 매개변수의 수치 값을 결정하는 방법을 정의하는 것입니다. 이 테스트 방법의 적용은 이 테스트 방법의 사용자 간에 비교 가능한 데이터를 생성하기 위한 것입니다.

이 문서는 가스 분배 시스템 구성 요소의 기계적 프로필 표면 거칠기 측정을 위한 방법, 측정 장비 및 테스트 조건을 지정합니다. 이 테스트 방법은 특정 표면 거칠기 매개변수에 대한 수치 값을 요구하거나 권장하지 않습니다. 이 테스트 방법은 가스 분배 시스템 구성 요소의 사양 및 제조를 위한 품질 관리 및 프로세스 개발에 사용하기 위한 것입니다.

참조된 SEMI 표준

없음.

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