F03700 - SEMI F37 - 가스 供給 System構成部品の表面粗 さ parameterの算出方法

SEMI F37 - 가스 供給 System構成部品の表面粗 さ parameterの算出方法 -

Member Price: ₩135
Non-Member Price: ₩347,000

Volume(s): Facilities
Language: Japanese

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Type: Single Standards Download (.pdf)

개정: SEMI F37-0299(0611 재승인) - 대체됨

개정

Abstract

本standardは， global Gases Committee で技術的に承認されている。現版は2011年5月13日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2011年6月にwww.semiviews.orgおよびwww.semi.org 는 2004년 11월부터 시작됩니다 .

　

注意: 本文書は，編集上の修正を伴い再承認された.

　

この試験方法の目的は，gas供給system構成部品上で測定される表面粗さparameterの数値を算出する方法を定義する ことである。のは, この試験方法의利用者間で比較可能なデーターを作成する ことである.

　

참조된 SEMI 표준

없음.

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