SEMI F36 - 가스 분배 부품의 치수 및 연결 가이드 -

Name: F03600 - SEMI F36 - 가스 분배 부품의 치수 및 연결 가이드
Brand: semi.org
SKU: 4051
Price: 242000.0 KRW
Availability: InStock

Member Price: ₩113

Non-Member Price: ₩242,000

Volume(s): Facilities
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정:

SEMI F36-0299(재승인 0913) - 현재

품목 옵션

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2013년 8월 22일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2013년 9월에 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 이전에 출판된 2004년 11월.

이 가이드의 목적은 가스 분배 시스템에 사용되는 구성 요소의 치수 및 기계적/전기적 연결 속성을 표준화하는 것입니다. 이러한 구성 요소 인터페이스의 표준화는 가스 분배 시스템 구성 요소의 호환성을 허용합니다. 필터/정화기, 차단 밸브, 압력 조절기, MFC/MFM 및 압력 변환기는 상호 교환이 가능한 가스 분배 부품 유형입니다.

이 가이드는 345kPa(50psi) 이하의 작동 압력에서 1/4인치 분배 시스템과 함께 사용하기 위한 것입니다.

가이드에는 다음 항목이 포함되어 있습니다.

각 구성 요소에 특정한 물리적 특성. 여기에는 구성 요소의 일반화된 도면, 각 종단 연결 유형에 대한 특정 종단 간 길이, 최대 엔벨로프 치수, 베이스-중심선 치수, 공차 및 하단 장착 정보가 포함됩니다.

해당되는 경우 각 구성 요소에 특정한 전기 연결. 여기에는 핀 배치 및 커넥터 유형이 포함됩니다.

참조된 SEMI 표준

없음.

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