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SEMI F34 - 액체 화학 파이프 라벨링 가이드 -
Volume(s):
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
이 표준은 Liquid Chemicals Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2017년 12월 13일 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2018년 6월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 1998년 9월에 처음 출판되었습니다.
이 문서는 반도체 제조 시설 및 장비에 사용되는 액체 공정 화학 배관 시스템에 라벨을 부착하기 위한 권장 체계를 수립합니다.
일관된 라벨링 시스템은 배관 내용물의 빠른 식별을 용이하게 하고 각 회사 또는 지역에서 자체 가이드를 개발할 필요를 제거하여 업계 내 혼란을 방지합니다.
이 가이드는 반도체 제조 공정을 위한 액체 공정 화학 배관 시스템에서 일반적으로 발견되는 구성 요소에 적용됩니다. 포함된 구성 요소의 다음 목록은 완전하지 않습니다.
• 배관
• 밸브
• 필터
• 레귤레이터
• 튜빙
참조된 SEMI 표준 없음.
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