SEMI F32 - 고순도 차단 밸브의 유량 계수 측정을 위한 테스트 방법 -

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Non-Member Price: ₩242,000

Volume(s): Facilities
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
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개정: SEMI F32-0211 - 현재

개정

Abstract

이 테스트 방법은 가스 및 액체에 적합한 크기의 밸브를 선택하는 데 사용되는 두 가지 기준을 결정하는 방법을 설명합니다.

　

이 방법으로 테스트한 밸브 전체의 압력 강하를 정확하게 계산하는 데 도움이 되도록 방법 및 방정식이 지정 및/또는 참조됩니다.

　

이 방법은 ANSI/ISA-S75.02에 지정된 두 가지 계수를 결정하기 위한 테스트 기준을 설정합니다.

  • 밸브 흐름 계수( C v )

  • 임계 압력 강하율 계수( x T )

　

이 방법은 ANSI/ISAS75.02와 함께 사용됩니다. 이 방법은 반도체 제조 시설에서 사용되는 가스 및 액체 분배 시스템 모두에 사용되는 수동 및 작동 밸브에 적용됩니다. 기존 시험법을 참고하여 시험조건에 제한을 두는 시험법입니다. 유량 계수, 막힌 유량 매개변수 및 압력 강하를 계산하기 위한 특정 방정식은 해당 ISA 섹션을 참조하십시오.

　

참조된 SEMI 표준

없음.

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