SEMI F31 - 벌크 화학물 분배 시스템 가이드 -

Name: F03100 - SEMI F31 - 벌크 화학물 분배 시스템 가이드
Brand: semi.org
SKU: 4040
Price: 242000.0 KRW
Availability: InStock

Member Price: ₩113

Non-Member Price: ₩242,000

Volume(s): Facilities
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정:

SEMI F31-0313 - 현재

품목 옵션

Abstract

이 표준은 글로벌 액체 화학 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2012년 12월 20일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2013년 3월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 1998년 6월에 처음 출판되었습니다.

알림: 이 문서는 2012년에 완전히 재작성되었습니다.

이 가이드는 벌크 화학물 분배 시스템(BCDS)의 구성 요소를 정의하고 BCDS에 공통적인 기본 설계 요소 및 선택적 설계 기능을 설명합니다.

본 가이드는 웨이퍼 제조 공정에 액상 약품을 공급하기 위해 반도체 제조 설비에서 사용되는 BCDS에 적용됩니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI E49 - 반도체 제조 장비용 고순도 배관 시스템 및 최종 조립을 위한 표준 성능, 관행 및 하위 조립에 대한 가이드
SEMI S2 — 반도체 제조 장비에 대한 환경, 건강 및 안전 가이드라인

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