SEMI F30 - 설치 현장에서 미량 가스 불순물 및 입자에 대한 정화기 성능 테스트 검증을 위한 테스트 방법 -

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2017년 2월 2일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2017년 5월에 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 1998년에 출판되었습니다. 이전에 출판된 2010년 7월.

이 테스트 방법의 목적은 고객 사양에 따라 가스 불순물 및 입자를 측정하기 위해 분석 장비를 사용하여 시작하는 동안 정화기의 성능을 확인하는 것입니다. 특정 흡입구 문제 및/또는 흡입구 측정이 필요한 경우 사전에 고객과 논의해야 합니다. 주입구 불순물은 ppm(part-per-million) 또는 ppb(part-per-billion) 분석 장비로 측정해야 합니다. 이 절차는 분당 50리터(LPM) 이상의 유량으로 평가되는 대규모 벌크 정수기에만 적용됩니다.

질소, 아르곤, 헬륨, 산소 및 수소 서비스에서 대규모 정화기의 성능 검증. 검증 테스트는 ppb 또는 ppb 미만 수준의 기체 불순물과 설치된 필터 모듈의 다운스트림에서 측정된 미크론 미만 크기의 입자에서 수행됩니다. 테스트는 달성 가능한 최대 정화기 흐름 및/또는 고객이 지정한 최대 정격 흐름 비율에서 수행됩니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI F58 — 대기압 이온화 질량 분광법(APIMS)에 의한 표면 장착 및 기존 가스 전달 시스템의 수분 건조 특성 결정을 위한 테스트 방법
SEMI F68 — 정화기 효율 결정을 위한 테스트 방법
SEMI F112 — Cavity Ring Down Spectroscopy(CRDS)에 의한 표면 장착 및 기존 가스 전달 시스템의 수분 건조 특성 측정을 위한 테스트 방법

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.