SEMI F30 - 据付現場における微量gas不純物およびpartycrumに関する精製器性能testの始動および検証 -

Name: F03000 - SEMI F30 - 据付現場における微量gas不純物 およびpartycrumに関する精製器性能testの始動および検証
Brand: semi.org
SKU: 10866
Price: 285000.0 KRW
Availability: InStock

Member Price: ₩135

Non-Member Price: ₩285,000

Volume(s): Facilities
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정:

SEMI F30-0710 - 대체됨

품목 옵션

Abstract

本standardは, global Gases Interfaces & Carriers Committee で技術的に承認されている。現版は2010年4月30日， global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2010 年6 月にwww.semi .org 에서 入手可能となる. 初版は1998 年発行.

本手順の目的は精製器の性能を検証することであるが，それには分析機器を사용용 시가스불純物およびパーティクルを顧客仕様書に合わせて測定して検証する。特定の入口および／mataは入口の測定が要求される場合,顧客と事前に打ち合わせを行うべきである.入口不純物は100万分の1単位(ppm )mataは10億分の1 単位( ppb )の分析ができる機器で測定されなければならない. この手順は，毎分50rittル( LPM )を超える大規模な流量のバルク精製器に対してだけ適用される.

참조된 SEMI 표준

SEMI F58 — 대기압 이온화 질량 분광법(APIMS)에 의한 표면 장착 및 기존 가스 전달 시스템의 수분 건조 특성 결정을 위한 테스트 방법
SEMI F68 — 정화기 효율 결정을 위한 테스트 방법

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