SEMI F29 - 가스 소스 시스템 패널의 퍼지 효능 테스트 방법 -

Name: F02900 - SEMI F29 - 가스 소스 시스템 패널의 퍼지 효능 테스트 방법
Brand: semi.org
SKU: 4074
Price: 242000.0 KRW
Availability: InStock

Member Price: ₩113

Non-Member Price: ₩242,000

Volume(s): Facilities
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정:

SEMI F29-0997(재승인 0517) - 현재

품목 옵션

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2016년 12월 8일 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2017년 5월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 2003년 9월에 처음 출판되었습니다. 이전에 게시된 2011년 6월.

알림: 이 문서는 약간의 편집 변경을 거쳐 재승인되었습니다.

이 문서는 반도체 제조에 사용되는 가스 소스 시스템에 대한 퍼지 효능의 최소 허용 수준을 결정하기 위해 권장되는 퍼지 효능 테스트 방법을 정의합니다. 또한 가스 소스 장비의 조달을 지원하기 위한 것입니다.

이 테스트 방법은 반도체 제조 시설 및 유사한 연구 및 개발 분야에서 사용되는 가스 소스 장비에 적용됩니다. 여기에는 가스 소스 시스템에 대한 오염 테스트 요구 사항이 포함됩니다.

이 문서에서 다루는 테스트는 다음과 같습니다.

• 제조업체의 표준 퍼지 시퀀스를 사용하는 비대화식 가스의 퍼지 효능.

• 테스트 방법에 지정된 퍼지 시퀀스를 사용하여 비대화식 가스로 퍼지 효능.

•제조업체의 표준 퍼지 시퀀스를 사용하는 대화식 가스의 퍼지 효능.

• 테스트 방법에 지정된 퍼지 시퀀스를 사용하여 대화형 가스의 퍼지 효능.

참조된 SEMI 표준

없음.

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