SEMI F27 - 대기압 이온화 질량 분석법(APIMS)에 의한 가스 분배 시스템 및 구성 요소의 수분 상호 작용 및 함량에 대한 테스트 방법 -

Abstract

이 표준은 글로벌 가스 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2011년 5월 13일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2011년 6월에 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 1997년 9월에 처음 출판되었습니다. 이전에 출판된 2003년 11월.

 

이 테스트는 제거 가능한 수분의 양과 가스 분배 시스템 및 구성 요소의 기체 상태 수분의 미량 농도와의 상호 작용 정도를 결정합니다. APIMS(대기압 이온화 질량 분석법)는 기본적으로 ppt 수분 분석이 가능한 유일한 상업적으로 이용 가능한 방법이고 응답 시간이 우수하기 때문에 현재 이러한 테스트에 선택되는 기술입니다. 이 방법은 현재 상용화되지 않은 APIMS에 대한 유사한 검출 한계 및 응답 시간을 가진 다른 기술의 적용에 대한 지침을 제공할 수 있습니다.

 

이 테스트의 결과는 시스템 및 구성 요소의 정성적 순위 지정에 사용할 수 있으며 충분히 숙련된 사용자가 배전 시스템 동작의 수치 시뮬레이션을 위한 입력으로 사용할 수도 있습니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI C15 — ppm 및 ppb 습도 표준에 대한 테스트 방법

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