SEMI F27 - 가스분리시스템 および部品の水分相互作用 および含有量の大気圧電離質量分析（APIMS）による, test方法 -

Abstract

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반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

 

本standardは， global Gases Committee で技術的に承認されている。現版は2011年5月13日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2011年6月にwww.semiviews.orgおよびwww.semi.org 는 1997년 9 월부터 시작됩니다 .

　

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このtestは, 除去可能な水分量 および微量なgas相水分との相互作用の程度を, gass配分system および部品に関して測定する ことである APIMSは現在そのようなtest.に対する最良の方法である。なぜならこの方法はppt （ 1兆分の1 ）単位の微量水分を分析するため実用化された唯一の方法であり，matata反応時間が優れているからである。この方法は, APIMSに類似の検出限界および反応時間を有するが現在まだ実用化されていない他の方法を適用する際の指針とすることもできる.

　

この testの結果は，systemom および部品の品質の格付けに使用でき，matata熟練した使用者ならば，配分system挙分system挙動の数値動的시뮬레이션の入力値としても使用できる。

　

시스템 および部品の種類

－この手順は，半導体gas配分systemにおいてElectronicsグレード材料を通スタメン使用されるinline部品に適用される。次の部品は，この方法でtestすると意味のある結果が得られると予想される。即ち管，코네크타(継手)，파티크루피르타，발브(체크，릴리프，샤트오후오요비메타링），레규레이타，플로스루노트란스듀사／센사，마스후로콘트로라오요비메타로.留部を持つ部品，例えば圧力ゲージのような部品もこの方法によってtestできる。しかし，結果は解釈が困難である.滞留部を持つ部品をtestするためには，ここで考慮した基準の他に追加の基準を作成する必要がある.

Gass相水分レベルは表面からの脱着によって支配されるので，この手順は，表面積の大きい部品，例えばparticrufilt や管のような部品に最も役立つと予想される。湿潤表面積が非常に小さな部品は，その水分相互作用が小さすぎてこのtestでは測定できない場合がある。체크바루브와리리후바르브가시험できるのは，それらの操作파라메타がtest条件to一致しているときだけである。

　

管sanプルは有用な結果を得るには相当長く（ 3 ～ 4meートルで）なければならない。しかし，それらを実際にtest作業台に載せるためU字形に曲げることができる。曲率半径は管の内径の6倍以上とする必要がある.mata曲げる個所はできるだけ少なくするべきである.現在，超高純度部品は大多数が金属gasketconektaを付けて供給される。したがって，使用されるtest作業台はこれに合うコネクタを備えているべきである。この種の継手は通常，管に溶接されているがこれは推奨できない実験結果に바라트키を生じそれが管理できないからである。その代わりとして，管の圧縮継手matataは適切なアダプタを使用すべきである。圧縮継手は最初に接続してから一連のtestが終わるまで外すべきではない。こうすれば,接続が完全に維持できる。가스켓트を圧縮継手に接続するアダプタは同じ種類のアダプタを使用して，全ての管山プルをtestすべきである。

　

精製器は特別のtest手順を要求するのでここでは述べていない.

　

ラインに接続される部品から成る単純な시스템は，本方法によってtestできる。複雑な시스템（即ち2つ以上の入口および／matataは出口がとれるsystem）は, Test構成（どの入口および出口を選ぶか）によってその性能が異なる.このようなSystemのtestについては本文書では述べていない.

　

가스

－この手順は窒素gasで行われる.その結果として水分の寄与に関する格付けがえられるが，窒素gas以外の他のgas流で use される部品に結果を適用する際は注意が必要である。他の「不活性」가스はそれぞれ異なるパージ特性を有し，部品を乾燥させる速度に速い遅いがある. 。耐腐食性に関する考察は本文書の適用範囲外である.但しこのtest手順は腐食検査において有用である場合がある.

操作状態

－部品からの水分寄与は，部品の製造中で発生する汚染の結果であり，matataはその後の大気matataは乾いていないgasに曝されることから起きる。したがって，主要な2つの状態を考慮する必要がある：

1. 「初期のドライダウン」状態。これを決定するのは受領した部品の水分含有量であって，製造工程および設計，表面の質，前処および包装の影響を全て受けている水分含有量である。

2. 「アップset反応」状態。

　

참조된 SEMI 표준

SEMI C15 — ppm 및 ppb 습도 표준에 대한 테스트 방법

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