SEMI F26 - 등급 10/0.2 독성 특수 가스의 입자 농도 사양 -

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Non-Member Price: ₩242,000

Volume(s): Facilities
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
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개정: SEMI F26-0118 - 현재

개정

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2012년 6월 18일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2018년 1월에 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 1997년 6월에 출판되었습니다. 이전에 출판된 2012년 7월.

이 문서의 목적은 10/0.2 등급 독성 특수 가스에 대한 최대 허용 입자 농도를 설정하고 이를 검증하기 위한 참조 방법을 설명하는 것입니다.

이 문서는 최대 8 × 105 Pa(8기압)의 압력에서 특수 가스 시스템을 통해 전달되는 독성 가스에만 적용됩니다. 이 방법은 8 × 105 Pa(8기압) 이상의 압력에서 고압 실린더에서 직접 샘플링하는 데 적합하지 않습니다. 이 문서는 다음 가스에만 적용됩니다.

• 암모니아( NH3 )

• 아르신(AsH 3 )

• 포스핀(PH 3 )

참조된 SEMI 표준

없음.

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