SEMI F25 - 등급 10/0.2 산화제 특수 가스의 입자 농도 사양 -

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2017년 5월 16일 글로벌 감사 및 검토 소위원회에서 출판 승인을 받았습니다. 원래 1997년 6월에 출판되었습니다. 이전에 출판된 2012년 7월.

이 문서의 목적은 10/0.2 등급 산화제 특수 가스에 대한 최대 허용 입자 농도를 설정하고 검증을 위한 참조 방법을 설명하는 것입니다.

이 문서는 최대 8 × 105 Pa(8기압)의 압력에서 특수 가스 시스템을 통해 전달되는 산화제 가스에만 적용됩니다. 이 방법은 8 × 105 Pa(8 기압) 이상의 압력에서 고압 실린더에서 직접 샘플링하는 데 적합하지 않습니다. 이 문서는 다음 가스에만 적용됩니다.

• 산소( _O2 )

• 아산화질소( _N2O )

• 삼불화질소(NF ₃ )

참조된 SEMI 표준

SEMI C6.2 — 파이프라인 가스로 전달되는 등급 20/0.02 산소에 대한 입자 사양

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