SEMI F24 - 등급 10/0.2 불활성 특수 가스의 입자 농도 사양 -

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 개정판은 2017년 5월 16일 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2017년 12월 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 이용 가능; 원래 1997년 6월에 출판되었습니다. 이전에 출판된 2012년 7월.

이 문서의 목적은 10/0.2 등급 불활성 특수 가스에 대한 최대 허용 입자 농도를 설정하고 검증을 위한 참조 방법을 설명하는 것입니다.

이 문서는 최대 8 × 105 Pa(8기압)의 압력에서 특수 가스 시스템을 통해 전달되는 불활성 가스에만 적용됩니다. 이 방법은 8 × 105 Pa(8기압) 이상의 압력에서 고압 실린더에서 직접 샘플링하는 데 적합하지 않습니다. 이 문서는 다음 가스에만 적용됩니다.

• 아르곤(Ar)

• 할로카본 23(CHF ₃ )

• 할로카본 ₁₁₆ ( _C2F6 )

• 헬륨(He)

• 질소( _N2 )

• 육불화황( _SF6 )

• 테트라플루오로메탄(CF ₄ )

참조된 SEMI 표준

SEMI C6.5 — 파이프라인 가스로 전달되는 등급 10/0.2 질소(N2) 및 아르곤(Ar)에 대한 입자 사양

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