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SEMI F23 - 등급 10/0.2 수소의 입자 농도 사양 -
Volume(s):
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 판은 2018년 2월 1일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2018년 5월에 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 1997년 6월에 출판되었습니다. 이전에 출판된 2012년 7월.
이 문서의 목적은 10/0.2 등급 수소에 대한 최대 허용 입자 농도를 설정하고 이를 검증하기 위한 참조 방법을 설명하는 것입니다.
이 문서는 최대 8 × 105 Pa(8 기압)의 압력에서 특수 가스 시스템을 통해 전달되는 수소(H 2 )에 적용됩니다. 이 방법은 8 × 105 Pa(8 기압) 이상의 압력에서 고압 실린더에서 직접 샘플링하는 데 적합하지 않습니다.
참조된 SEMI 표준 SEMI C6.3 — 파이프라인 가스로 전달되는 등급 20/0.2 수소(H 2 )에 대한 입자 사양
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