SEMI F23 - 그레이드10/0.2 화성특유가스의 진자에 대응하는 사양 -

Name: F02300 - SEMI F23 - 그레이드10/0.2 화성특유가스의 진자에 대응하는 사양
Brand: semi.org
SKU: 10936
Price: 284000.0 KRW
Availability: InStock

Member Price: ₩135

Non-Member Price: ₩284,000

Volume(s): Facilities
Language: Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
SEMI Standards Copyright Policy/License Agreements

개정:

SEMI F23-0697(0712 재승인) - 대체됨

품목 옵션

Abstract

本standared는, global Gases Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2012年6月18日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2012年7月にwww.semiviews.orgおよびwww.semi.org에서 入手可能となる. 初版は1997年6月発行.

本書はグレード10/0.2引火性特殊gasno粒子の最大許容濃度を設定し，それを検証するための参照方法について記述することを目的とする.

本書は8 × 105 Pa(8気圧)以下の圧力下で特殊gassystemから供給される引火性gassにのみ適用する。この方法は8 × 105 Pa ( 8気圧)以上の圧力で高圧シリンダから直接산프링を行う場合には適していない.本書は下記に示すgasにのみ適用される.

水素( H ₂ )

참조된 SEMI 표준

SEMI C6.3 — 파이프라인 가스로 전달되는 등급 20/0.2 수소(H ₂ )에 대한 입자 사양

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SEMI F23 - 그레이드10/0.2 화성특유가스의 진자에 대응하는 사양 -

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