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SEMI F22 - 벌크 및 특수 가스 분배 시스템 가이드 -
Volume(s):
Facilities
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
이 표준은 시설 글로벌 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2017년 12월 13일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2018년 5월에 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 원래 1997년에 출판되었습니다. 이전에 2012년 8월에 게시되었습니다.
이 참조 문서는 반도체 제조 시설에서 고순도 가스 분배 시스템의 공통 시스템 구성, 구성 요소 및 하위 구성 요소를 사용자에게 간략하게 설명하기 위한 것입니다. 관련 사양도 명시되어 있습니다.
이 문서에는 벌크 및 특수 가스 분배 시스템이 모두 설명되어 있습니다.
구성 요소 및 하위 구성 요소는 공급 지점에서 공정 장비에 대한 연결 지점까지 식별됩니다.
참조된 SEMI 표준 없음.
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