F02100 - SEMI F21 - 청정 환경에서 공기 중 분자 오염 물질 수준의 분류

SEMI F21 - 청정 환경에서 공기 중 분자 오염 물질 수준의 분류 -

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Volume(s): Facilities
Language: English

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Type: Single Standards Download (.pdf)

개정: SEMI F21-1016 - 현재

개정

Abstract

이 표준은 Gases Global Technical Committee에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2016년 8월 31일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 원래 1995년에 출판되었습니다. 이전에 출판된 2002년 11월.

알림: 이 문서는 2016년에 완전히 재작성되었습니다.

이 표준의 목적은 분자(미립자가 아닌) 오염 수준과 관련하여 마이크로전자공학 청정 환경을 분류하는 것입니다. 이 분류는 특정 공기 중 분자 오염 물질 그룹의 허용 가능한 오염 수준을 전달하는 일관된 수단을 제공합니다. 이 표준에 첨부된 관련 정보 1을 참조하십시오.

이 분류는 반도체 청정 환경(프로세스 도구 환경 포함) 및 오염 제어 및 측정 장비 성능 사양에 사용됩니다.

참조된 SEMI 표준

없음.

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