F02000 - SEMI F20 - Specification for 316L Stainless Steel Bar, Forgings, Extruded Shapes, Plate, and Tubing for Components Used in General Purpose, High Purity and Ultra-High Purity Semiconductor Manufacturing Applications - SEMI Dev 2

SEMI F20 - 범용, 고순도 및 초고순도 반도체 제조 응용 분야에 사용되는 부품용 316L 스테인리스 스틸 바, 단조품, 압출 성형품, 플레이트 및 튜브 사양 -

Member Price: ₩225
Non-Member Price: ₩476,000

Volume(s): Facilities
Language: English
Type: Single Standards Download (.pdf)
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개정: SEMI F20-0706E(재승인 0917) - 현재

개정

Abstract


이 사양의 목적은 범용, 고순도 및 초고순도 화학(기체 또는 액체) 분배 시스템용 부품 제조에 사용되는 316L 스테인리스강의 금속학적 청결도 요구 사항 및 재료 구성을 정의하는 것입니다.


이 사양은 ASTM A276에 지정된 316L 스테인리스 스틸 바, 단조품 및 압출 성형품, ASTM A240에 지정된 플레이트 스톡 및 ASTM A269 및 ASTM A632에 지정된 튜브에 대한 요구 사항을 정의합니다. 반도체 제조 시설의 범용 및 고순도 화학 물질(기체 또는 액체) 분배 시스템.

참조 SEMI 표준 (별도 구매)

없음.

개정 내역

SEMI F20-0706E(재승인 0917)

SEMI F20-0706E(재승인 0611)

SEMI F20-0706E(편집 개정)

SEMI F20-0706(기술 개정)

SEMI F20-0305(기술 개정)

SEMI F20-0704(기술 개정, SEMI F2 결합으로 재작성)

SEMI F20-0997(기술 개정)

SEMI F20-95(초판)

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