SEMI F20 - 高純度 および超高純度の半導体製造アプリケーションで用 される汎用 콘포넨트용의 316Lstenres鋼の棒鋼，鍛造品，押出成品，鋼板，鋼管の仕様 -

Abstract

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免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡

반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

 

本standardは， global Gases Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年5月13日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2011年6月にwww.semiviews.orgおよびwww.semi.org 는 1995년 7월부터 2006년 7 월까지 운영됩니다.

　

本仕様の目的は，汎用や高純度，超高純度の化学物質（気体matataは液體）分配System用コンポーネntを製造するために用いれる316Lstenres鋼に必要な冶金学的清浄度に関する要求条件および材料組成を定義することである.

　

本仕様は，半導体製造設備で使用される汎用および高純度の化学物質(気体matataは液체)分配system コンポーネntを製造するたに用いラれる316Lstenres鋼に対する要求条件を，定義する。316L鋼は，棒鋼や鍛造品，押出成形品についてはASTM A276に定義され，鋼板についてはASTM A240に定義され，鋼管についてはASTM A269およびA632に定義されるものである.

　

참조된 SEMI 표준

없음.

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